- [檢測百科]分享：JSM 6360型掃描電鏡故障診斷與維護(hù)控制2024年11月25日 14:03
- 掃描電鏡（SEM）是利用聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像的儀器[1],具有分辨率高、放大倍率寬、三維立體效果好、試樣制備簡單、綜合分析能力強(qiáng)、操作容易等特點(diǎn),已成為生物學(xué)、材料學(xué)等自然科學(xué)領(lǐng)域的重要微觀表征手段之一[2]。掃描電鏡可以與X射線能譜儀、波譜儀,以及電子背散射衍射（EBSD）、聚焦離子束（FIB）等設(shè)備配合使用,廣泛用于科研院校研究與教學(xué),以及企業(yè)的生產(chǎn)檢測中[3]。
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